シャフトモーターを使用した高精度荷重制御用の垂直軸ユニット。
■シャフトモーター＆クロスローラーガイド方式により高剛性な構造を構築高精度な荷重制御を実現。
■高い回転精度と大口径の中空軸構造を持った超小型のMTL社製DDモータを採用。
ZU-100QPL-PD00-20st-AT-RMTL-02
| Z軸 | |
| ストローク | 20mm |
| エンコーダ分解能 | 0.1μm |
| シャフトモーター （ジイエムシーヒルストン社） | SX100D-PD00 |
| 定格推力 | 17N |
| 最大推力 | 70N |
| θ軸 | |
| エンコーダー分解能 | 432000 pls/rev |
| μDDモーター （マイクロテック・ラボラトリー社） | MDH-3006-108KE |
| 定格トルク | 0.044N･m |
| 最大トルク | 0.14N･m |
| 可動部重量 | 0.45kg |
| ユニット総重量 | 1.1kg |