クロスローラーガイド採用の超精密単軸リニアステージ。
アクチュエーターとしてシャフトモーターを採用し、コイルを固定してシャフトを動かすユニークな構造です。
超低速～高速動作が可能で、速度ムラ、振動がほとんどありません。
SPSナノポジショニングシリーズは、サーボステージの速度とピエゾステージの精度を合せ持つ高精度リニアシャフトモーターステージです｡
駆動源にはコアレスのリニアシャフトモータを採用しており､コギングレスで極めて高い速度安定性と位置決め精度を実現しております｡
ガイドにはクロスローラガイドを採用｡ また､ムービングシャフト方式で安定した動作と連続運転における信頼性･耐久性をアップしています｡
シャフトモータは摩擦がないため、騒音や埃もなくモータメンテナンスも不要です。
