コアレスタイプリニアモータ、≪シャフトモータ≫を採用したSPSナノポジショニングシリーズは高精度精密ステージです。
特性として、コギングレスで極めて高い速度安定性と位置決め精度を実現しております｡

定格以上の大きな負荷の変更、運転パターン加速度変更などに対しても
シャフトモータをパラレルに追加配置する事により、推力UP等の特性向上を図れます。
ステージを変更することなく、仕様変更にお応えできる場合があります。

画像処理検査装置、分析機器、マイクロ加工機、精密レーザー加工、光学機器等分野でご検討いただけます。