高精度/超低振動のリニアシャフトモーター使用。

●特長
・超薄型ステージ厚30mm
・オープンフレーム構造
・XY移動量45/30mmストローク
・位置決め分解能0.05μm
・高速制御可能　最高速度200mm/sec（4Mpps時）
・優れた静音性
・タイリング時の貼り合わせも高精度に実現
・小型コントローラードライバーFMAX-4X-2Dをご用意