XY軸、パン&チルトの4軸ともダイレクトドライブのリニアシャフトモーター、μDDモーターを使い、高速・精密位置決め・ノーバックラッシュを実現させています。

●仕様
・XY 部 リニアシャフトモーター S160Q-160st
　S160T-110st パラレル制御 エンコーダー分解能1μm
・パンチルト部 マイクロテックラボラトリー社 μＤＤモーター MDH-40 シリーズ
　エンコーダー分解能インクリメンタル324,000ppr
・日本パルスモーター社製 高速シリアルネットワークシステム“Motionnet” 使用
　ローカル最大64 軸の同期･補間モーション制御可能

●用途
・高速カメラを使用した画像検査システム
・レーザー3D 精密加工システム
・光学系検査装置